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半導(dǎo)體實驗室氣路的類型及操作注意一定要搞懂

更新時間:2021-01-22  |  點擊率:1747
   近年來半導(dǎo)體工業(yè)發(fā)展快速,而在半導(dǎo)體廠中所使用的制程化學(xué)氣體欲具有向?qū)У奈kU性,任何疏失都有可能造成人員嚴重的傷亡與設(shè)備重大的損失,因此采用半導(dǎo)體實驗室氣路將這些高危險氣體安全地輸送到制程機臺上使用,將是半導(dǎo)體廠安全中重要的考量因素。
  一般可區(qū)分為大宗氣體和特殊氣體,其中大宗氣體通常是以室外的大型氣站或槽車供應(yīng)為主;而特殊氣體的部分由于其特性包含易燃性、腐蝕性及毒性等,如果發(fā)生泄露可能釀成災(zāi)禍,因此需要特別注意。
  1、半導(dǎo)體實驗室氣路之可燃氣體:
  在實驗室中,可以提供熱源的氣體一般是:天然氣、煤氣、液化氣等,使用這種燃氣主要就是用于試樣熔融分解和一些玻璃器皿制造,也能用在煤氣沙浴。它的使用場所一般是在試驗臺或者實驗室通風(fēng)柜中,但是在試驗臺上使用,要保證臺面耐高溫和設(shè)計原子吸收或其他排氣裝置,同樣也具有耐高溫的性能。以上可燃氣體都具有高危險性,進行氣體管路的設(shè)計和安裝時要達到國家的要求標準、行業(yè)規(guī)范,非專業(yè)工程師不得隨意改動和安裝,以免氣體泄漏,造成事故的發(fā)生。
  2、半導(dǎo)體實驗室氣路之高純氣體:
  常規(guī)咱們在實驗室中接觸到的高純氣體有:氧氣、氮氣、氬氣、空氣、氮氣等,這些高純氣體等級有所不同,也意味著他們的純度不同,可根據(jù)實驗要求或者儀器要求來先擇適合的純度級別。它們均存放在高壓氣瓶當(dāng)中,使用時要進行機械減壓,才能達到實驗所需的壓力值。像乙炔、乙烷、氫氣等都是易燃易爆氣體,一旦泄露對人體和環(huán)境有危害,所以對氣瓶的存放有嚴格要求,必須有獨立的存放空間,不得和助燃氣體混放、遠離火源等。當(dāng)然在使用任何氣體時,都需要輕拿輕放,因為氣瓶中壓力很大,如果不小心磕碰,隨時都會造成危險。投放使用之前檢查好鋼瓶的外觀是否有皮損、嚴重銹跡、閥門是否有泄露,出氣口是否有灰塵雜質(zhì),出口頭墊片是否老化,必要時要做好清理和更換。
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